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“神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?

吉他重庆2022-06-10【民谣吉他教程】人已围观

简介 光刻机集人类智慧于大成,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方国家,德国的镜头、美国的光栅、瑞典的轴承、法国的阀件等等,最麻烦的这些顶级的零件对我国是禁运的。可

    光刻机集人类智慧于大成,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方国家,德国的镜头、美国的光栅、瑞典的轴承、法国的阀件等等,最麻烦的这些顶级的零件对我国是禁运的。可以说我国的光刻机与荷兰ASML光刻机的差距,客观上反映了我国与西方在精密制造领域的差距。

    我国的光刻机    我国的光刻机起步较晚,同时还遭遇了西方国家的技术封锁,所以目前制造出来的光刻机主要集中于65nm及其以下的工艺。

    目前,我国生产光刻机的企业是上海微电子,成立于2002年,可以量产制程工艺为65nm的光刻机,距离ASML的7nm EUV光刻机还有很远的距离,而且光刻机技术无法实现跳跃。

    上海微电子也是一家系统集成商,自己并不生产关键零部件,做不出高端光刻机也不是它的责任。现在也只能做好中低端光刻机,慢慢培养国内的零部件商,一点一点往上做。

    荷兰AMSL光刻机    目前,光刻机的老大是荷兰的ASML,垄断了高达80%的市场份额,最先进的EUV光刻机全球也只有ASML能够生产。

    AMSL光刻机90%的零部件向外采购,整个设备的不同部位同时获得了世界商最先进的技术,德国的光学设备、美国的计量设备和光源,ASML要做的是精密控制。7nm EUV光刻机有13个系统,3万个分件,每个动作都要精细,将误差分散到这13个系统中。

    荷兰的AMSL还有一个独特的合作模式,只有投资了ASML才能获得优先供货权,而台积电、三星、海力士、英特尔都是ASML的股东,大半个半导体行业都是ASML的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体。

    中芯国际    我国的中芯国际,已经突破了N+1工艺制程,性能接近7nm,高端光刻机仍然来自于荷兰的ASML。

    早在2018年,中芯国际就从ASML成功预定了一台7nm EUV光刻机,但是先是因为失火推迟发货,后是因为美国方面的阻挠,2020年了,仍然没有收到这台7nm EUV光刻机。

    总之,高端光刻机集人类智慧与大成,单靠任何一家企业是无法完成的。由于很多原因,很多精密仪器、高精尖的设备对我国是禁运的,只有慢慢培养国内零部件厂商,一点一点往上走。

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很遗憾的告诉题主,没有一家中国公司可以解光刻机之围,并且未来很长一段时间将保持这种状态。我来简单说说我国当前光刻机的现状吧!

1、光刻机需要先进系统制造商

我国目前生产光刻机的系统制造商有几家,比如无锡影速、合肥芯硕、先腾光电、上海微电子,当前能生产最先进光刻机的系统制造商是上海微电子,量产机型能实现90nm制程工艺,其他厂商的技术还停留在200nm,乃至800nm~1500nm,是不是很吃惊?要知道荷兰ASML最先进EUV光刻机的工艺达到了7nm,而我们最好的还只是90nm。

我国光刻机在全球范围内来说,技术处于低端领域,中端市场目前被日系厂商尼康佳能所占据。在技术落后两三代的情况下基本没可能,要求上海微电子短期内实现跨越式成长,从低端赶上中端,然后再全力超过荷兰ASML几乎是不可能的。

因此,单从系统制造商这个层面来说,现在的上海微电子无法解决我国缺乏先进光刻机的困扰。

2、光刻机仅有系统制造商不行

光刻机是一个非常复杂的设备,单就上海微电子产的光刻机就有几万个配件,想要实现光刻机技术的飞跃,各个核心子系统的制造商不可或缺,没有他们生产出给力的核心部件,上海微电子就是巧妇难为无米之炊。

就拿光刻机两个核心子系统光源、双工件台来说,目前国内水平有突破,比如上海微电子光刻机使用的镜头和光源由长春光机研发,之前该机构研发的“极紫外光刻关键技术研究”获得验收,可以实现32nm线宽的EUV光刻。而由清华大学领衔的工件台研发也取得了不错的成绩,目前我国能制造出双工件台,是ASML之后唯一的一家,这机器现在可以应用于65nm及以下节点是光刻机。

你看,如果说没有长春光机和清华的研发,上海微电子光刻机的核心子系统就没法得到提升,其制造出的光刻机也就没法拥有更好的制程。但以上只是光刻机中的两个子系统,还有更多的子系统和配件,如果说其他配件或者子系统供应商技术上不去,那我国光刻机的整体水平依旧上不去。

事实上荷兰ASML的光刻机能做成,很重要一条因素就是能在全球拿到最好的配件,源自美国的光源,德国蔡司提供的最好镜头,光学器件采购自日本厂商,法国瑞段的阀件轴承等等。

Lscssh科技官观点:

综合来说,光刻机是一个系统工程,是各个领域技术的集大成者,不仅需要类似ASML这样系统制造商,还需要类似长春光机这样的各个配件供应商或者研发机构一同努力,只有整个光刻机产业链一同发展一同取得进步,我国光刻机才可能有快速的发展,其中任何一家拖后腿都可能影响到我国光刻机的研发。

因此,没有一家中国公司可以解光刻机之围,只有靠举国之力才可能研发出最先进的光刻机。

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Tags:刻机   中国   猜测

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